Κατάλογος τεχνικών παραμέτρων της μηχανής οπτικής επικάλυψης πολλαπλών στρώσεων

Μοντέλο

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Μέγεθος αίθουσας επικάλυψης

1050 * 1250304 Ανοξείδωτος χάλυβα.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Μέγεθος κοιλότητας επικαλυμμένου

Υποστήριξη από το έδαφος 1680mm, κατάλληλη για τη λειτουργία της ανθρώπινης μηχανικής.

Υποστήριξη από το έδαφος 1468mm, κατάλληλη για τη λειτουργία της ανθρώπινης μηχανικής.

Υποστήριξη από το έδαφος 1510mm, κατάλληλη για τη λειτουργία της ανθρώπινης μηχανικής.

1 τόξο μεμονωμένο κομμάτι εργασίας, σε μεγαλύτερο βαθμό για να καλύψει τις ανάγκες των πελατών για ομοιομορφία. Περιστρέφοντας 5-30R/λεπτό, αλλαγή ταχύτητας.

2 Πλάκα Τύπου Τύπου Τύπου Τύπου, η περιστροφή του πλανήτη, σε μεγαλύτερο βαθμό για να καλύψει τις ανάγκες των πελατών στην παραγωγή. Περιστρέφοντας 5-30R/λεπτό, αλλαγή ταχύτητας.

Εξάρτημα εργαλείων

Για τέσσερα κομμάτια, η γωνία βραχίονα είναι ρυθμιζόμενη σε μεγαλύτερο βαθμό για να ικανοποιήσει την ομοιομορφία των πελατών. Περιστρέφοντας 5-30R/λεπτό, αλλαγή ταχύτητας.

Τύπος τόξου μεμονωμένο κομμάτι εργασίας, σε μεγαλύτερο βαθμό για να καλύψει τις ανάγκες των πελατών για ομοιομορφία. Περιστρέφοντας 5-30R/λεπτό, αλλαγή ταχύτητας.

Τύπος τόξου μεμονωμένο κομμάτι εργασίας, σε μεγαλύτερο βαθμό για να καλύψει τις ανάγκες των πελατών για ομοιομορφία. Περιστρέφοντας 5-30R/λεπτό, αλλαγή ταχύτητας.

σύστημα κενού

Μονάδα: Αντλία διάχυσης DIP-12000 (LAI BAO), ZJY-300 2x-70 Αντλία ρίζας, μηχανική αντλία, συντήρηση αντλίας 2x-8. Σωλήνας για 304 ανοξείδωτο χάλυβα.

Μονάδα: Αντλία διάχυσης KT-400 (Zhen HUA), ZJY-150 2x-70 Αντλία ριζών, μηχανική αντλία, συντήρηση αντλίας 2x-8.

Μονάδα: Αντλία διάχυσης KT-600 (Zhen HUA), ZJY-600 2x-70 Αντλία ρίζας, μηχανική αντλία, συντήρηση αντλίας 2x-8.

Μονάδα: Αντλία διάχυσης KT-800 (Zhen HUA), ZJY-600 2x-70 Αντλία ρίζας, μηχανική αντλία, συντήρηση αντλίας 2x-8.

Ultimate Vacuum: καλύτερο από 4 x PA 10-4.

Διαμόρφωση του εξοπλισμού κατά της αναταραχής, σχεδιασμός αλληλοσύνδεσης ασφαλείας, χειροκίνητο, αυτόματο προαιρετικό.

σύστημα θέρμανσης

Σωλήνας θέρμανσης στον τρόπο θέρμανσης, τον έλεγχο PID, το υψηλότερο 350 C + 1,5.

Πληθωρισμός αερίου

Το όργανο ελέγχου ροής μάζας αερίου ή η χειροκίνητη βαλβίδα φόρτισης λεπτών ρύθμισης.

Βομβαρδισμός ιονισμού κενού

DC 3KV, 06kW Rod Cathode (για επικάλυψη πριν από τον αυτοκαταστροφή του τεμαχίου).

Πηγή εξάτμισης (προαιρετικά)

1 Telemark-270 Electron Gun (εισαγωγή), 6kW, ρυθμιζόμενο υψηλής πίεσης 4KV-10KV. Σάρωση, σάρωση, κυκλική σάρωση και σπειροειδή σάρωση. Το επίκεντρο του σημείου δέσμης είναι καλό, η ακρίβεια τοποθέτησης είναι υψηλή και η αναπαραγωγιμότητα είναι καλή.

2 εγχώριο όπλο ηλεκτρονίων (Zhen Hua): 6kW, υψηλής πίεσης 4 kV ~ 8kV ρυθμιζόμενο, μπορεί ελεύθερα να επιλέξει κύμα τριγώνου, ημιτονοειδές κύμα, σάρωση τετραγωνικού κύματος.

3: Six Hole Crucible Phi 38 * 20 ή τέσσερις τρύπες Crucible Phi 38 * 20 συν ένα 87 σημειακό κέντρο τόξου Arc Crucible (για μεγάλη ποσότητα χαμηλών υλικών εξάτμισης σημείων) ή τέσσερα σημεία με 48 x 18 Crucible.

Πηγή ιόντων (προαιρετικά)

1 RF (ραδιοσυχνότητα) Πηγή ιόντων (εισαγωγή).

2 5kva Holzer Ion Source (Zhen Huachan), που χρησιμοποιείται για την ηλεκτρολυοποίηση πριν από τον καθαρισμό ή τη διαδικασία επιμετάλλωσης για να βοηθήσει την επιμετάλλωση, ευνοεί τη βελτίωση του δείκτη διαθλαστικής μεμβράνης, της σταθερότητας, της βελτίωσης της πυκνότητας του φιλμ, της προσκόλλησης.

Σύστημα ελέγχου πάχους φιλμ (επιλογή)

1. MDC-360 Συσκευή ελέγχου κρυστάλλου (εισαγόμενος) μπορεί να αποθηκεύσει τη διαδικασία αυτόματης επίστρωσης 1 ~ 99, 99 είδη δεδομένων προγράμματος, ακρίβεια 0,5%+1 σταθερό σφάλμα. 2TELEMARK-880 Συσκευή ελέγχου κρυστάλλου (εισαγόμενη): Μπορεί να αποθηκεύσει 1 έως 99 στρώματα αυτόματης διαδικασίας επίστρωσης, 99 είδη δεδομένων προγράμματος. Ακρίβεια 0,5%+1 σταθερό σφάλμα.

3.TELEMARK-820 PHOTOCONTROLTROLLER (Εισαγωγή): Το πλήρες άκρο του φάσματος χρησιμοποιώντας μια τεχνολογία ανάλυσης πολλαπλών μήκους κύματος, μέσω της μετάδοσης της παρακολούθησης 370-870 mm (ή ανάκλασης) ανάλυσης καμπύλης για τον προσδιορισμό του τέλους της μεμβράνης. Η ακρίβεια ελέγχου είναι υψηλή και μπορεί να χρησιμοποιηθεί ο έλεγχος μήκους ενός κύματος, ο αυτόματος έλεγχος και ο χειροκίνητος έλεγχος. Πρόσθετο λογισμικό υπολογισμού του συστήματος μεμβράνης MacileOD, υψηλού βαθμού ολοκλήρωσης.

4. Ο ελεγκτής φωτός του Telemark-820 με τον ελεγκτή Telemark-880 μπορεί να ανταποκριθεί στην κρυστάλλινη μεμβράνη με υψηλή ακρίβεια και απαιτήσεις υψηλής επαναληψιμότητας. Με τον υπολογιστή κεντρικού υπολογιστή μπορεί να συνειδητοποιήσει αυτόματο έλεγχο.

5 Εσωτερικός φωτοελεγκτής (όπως ο τύπος 9704 που υποστηρίζει το μήκος κύματος μονοχρωμίου 330 ~ 870 κλπ.) Ρυθμιζόμενη, η ακρίβεια μπορεί να φτάσει τα 1,5nm.

Χειροποίητη συσκευή

Με μαγνητική βάση, μπορεί να τοποθετηθεί στην πόρτα του θαλάμου κενού και να ελέγξει την αυθαίρετη θέση.